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联系方式 |
产品系列
品牌 | 日本KOSAKA | 型号 | ET200 |
测量范围 | Max. 600μm | 测量精度 | 0.001 |
电源电压 | AC100V±10%, | 用途 | 测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损 |
KOSAKA LAB ET 200
微细形状测定机(探针接触式台阶仪)
株式会社小坂研究所(KOSAKA)是于1950年创立的公司,也是日本**家發表光學
幹槓桿表面粗糙度計,是一家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商,主要有測定/自動/流體三
大部門。其中測定部門為**代表性單位且在日本精密測定業佔有一席無法被取代的地位。
设备特点:
KOSAKA ET 200基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析,包
括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器
件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石(钻石)探针接触测量的方式来实现高精
度表面形貌分析应用。ET 200能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损
度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
ET 200配备了各种型号探针,提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头,彩色CCD
原位采集设计,可直接观察到探针工作时的状态,更方便准确的定位测试区域。
规格
一、測定工件:
1.**工件尺寸:φ160mm
2.**工件厚?:50mm
3.**工件重量:2kg
二、檢出器(pick up):
1. Z方向測定範圍:Max. 600μm
2. Z方向分解能:0.1nm
3.測定?:min.1mgf,max.50mg
4.觸針半徑:2μm
5.驅動方式:直動式
6.再現性:1σ= 1nm
三、X軸(基準軸):
1.移动量(**測長):100mm
2.移動的真直?:0.2μm/100mm
3.移動,測定速?:0.02 ~ 10mm/s
4.線性尺(linar scale):分解能0.1μm
四、Z軸:
1.移动量:50mm
2.移動速度:max.2mm/S
3.檢出器自動停止機能
4.位置決定分解能:0.2μm
五、工件台:
1.工件台尺寸:φ160mm
2.機械手動倾斜:±1mm/150mm
?、工件觀察:max.110倍(可選購其它高倍?CCD)
七、床台:材質為花崗岩石
八、防振台(選購):?地型或桌上型
九、電源:AC100V±10%,
50/60HZ, 300VA
十、本體外觀尺寸及重量:
W494×D458×H610mm, 120kg
(?含防震台)
KOSAKA LAB ET 200 台阶仪设备特点: KOSAKA ET 200基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析,包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石(钻石)****接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET 200能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
ET 200配备了各种型号****,提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头,彩色CCD原位采集设计,可直接观察到****工作时的状态,更方便准确的定位测试区域。
规格 一、測定工件:
1. **工件尺寸:φ160mm
2. **工件厚度:50mm
3. **工件重量:2kg
二、檢出器(pick up):
1. Z方向測定範圍:Max. 600μm
2. Z方向分解能:0.1nm
3. 測定力:min.1mgf,max.50mg
4. 觸針半徑:2 μm
5. 驅動方式:直動式
6. 再現性:1σ= 1nm
三、X 軸 (基準軸):
1. 移动量(**測長):100mm
2. 移動的真直度:0.2μm/100mm
3. 移動,測定速度:0.02 ~ 10mm/s
4. 線性尺(linar scale):分解能 0.1μm
四、Z軸:
1. 移动量:50mm
2. 移動速度:max.2mm/S
3. 檢出器自動停止機能
4. 位置決定分解能:0.2μm
五、工件台:
1. 工件台尺寸:φ160mm
2. 機械手動倾斜: ± 1mm/150mm
六、工件觀察:max.110 倍(可選購其它高倍率CCD)
七、床台:材質為花崗岩石
八、防振台(選購):落地型或桌上型
九、電源:AC100V±10%, 50/60HZ, 300VA
十、本體外觀尺寸及重量: W494×D458×H610mm, 120kg (不含防震台)