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光学仪器及设备
PL光致发光成像太阳能电池生产检测设备
lyncee+材料3D实时动态显微镜+DHM™ R2100
Denselight SLD
细胞3D实时动态显微镜
Yenista+Tunics Reference+高性能可调激光光源
yenista+OSICS T100+窄线宽可调激光器
Yenista+TUNICS T100R+可调谐激光器
Yenista+T100S-HP+高功率可调激光器
fiberlabs光纤放大器S波段
fiberlabs光纤放大器0波段
其他
Sinton+WCT120+硅片少子寿命测试仪
光伏电池测试太阳模拟器
光伏测试太阳模拟器
变温霍尔效应测试仪
IV测试,QE测试用探针台样品台PVM
制备多晶硅太阳电池的氮化硅涂层沉积设备
在线式HIT用PECVD MVS
卷对卷柔性薄膜沉积设备MVS
已封装的标准太阳能电池
已校准的标准太阳能电池
半导体行业专用仪器
霍尔效应测试仪
膜厚光谱分析仪系统
嵌入式膜厚测试仪
膜厚测量仪
椭圆偏光膜厚测量仪(手动)
椭圆偏光膜厚测试仪(自动)
反射式膜厚测量仪
Sinton Instruments+BCT400+少子寿命测试仪
太赫兹时域光谱仪TDS
测量/计量仪器
接触电阻率测试仪
HalfMoon LED光色电检查系统
台阶仪
PLUTO高精度纯相位空间光调制器系统
空间光调制器Holoeye
光谱检测分析仪
FX2000工业级微型光谱仪
PG2000-Pro科研级高灵敏光谱仪
NOVA实验级制冷型光纤光谱仪
碳氧含量分析仪Nicolet 6700测试仪傅立叶红外光谱仪
FTE-8000手持式光谱分析仪
相关仪表
WCT-120PL产品分别采用标准QSSPC方法和光致发光法测量硅片的载流子寿命
单锥拉锥系统
保偏光纤耦合器熔融拉锥机
普通单模光纤拉锥系统
电化学仪器
电化学ECV +掺杂浓度PN结深测试+CVP21
电化学CV分布仪(CV测试仪)
辐射测量仪器
太赫兹探测器高莱探测器THz Golay cell
制样/消解设备
溅射设备MVS
无损检测/无损探伤仪器
CoreScan、Sherescan电池片面电阻测试系统
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产品系列
材料3D实时动态显微镜
lyncee+材料3D实时动态显微镜+DHM™ R2100
LynceeTec数字全息显微镜DHM
Digital Holographic Microscopy (DHM) generates, in real-time, high resolution 3D digital images of a sample using the principle of holography. DHM R1000 series Cost-effective sub-nanometer resolution in real-time.
仪器简介
瑞士Lyncee tec公司的材料3D实时动态显微镜DHM R1000 “DHM(Digital Holographic Microscopy)主要应用是在MEMS研发中用于测量工作,以及在生产线用于缺陷检测。与上述用途中现在经常使用的共焦显微镜相比,在同行分辨率下能够更高速地进行测量。垂直方向的分辨率为0.6nm,水平方向为200nm~300nm(取决于物镜)。使用1.25倍率的物镜时视野为4mm×4mm,可以15帧/秒的速度进行测量。因此,25px见方的试样几分钟即可完成观察。使用现有共焦显微镜时,同等范围的观察则需要几个小时~10小时。此外产品**可将观察速度扩展至1万帧/秒。由于摄影速度快,因此不需减震台,可用来检测流水线上的产品。
照射到试料上的光线与参照光产生的干涉图案使用CCD相机,作为数字数据保存下来,由此算出三维数据。计算三维数据时使用的是专用软件“Koala Software”。
主要特点:
·非接触式3D成像
·可进行相位测量
·自动相干补偿
·高分辨、实时测量
技术规格
系统
·测量技术: 单波长透射式数字全息显微镜
·成像类型: 强度及定量相差 (DHM模式)
·光 源: 单波长激光
·样品台: 手动或自动XYZ平台, 行程200mm××100mm×15mm
·相 机: 1392×1040像素, 8bits
·有效物镜: 标准显微物镜, 长工作距离物镜, 油镜或水镜
性能
·纵向分辨率: 10nm
·垂直测量范围: 可达340nm (取决于样品)
·横向分辨率: 300nm (1.4NA)
·视场范围: 4.4mm
·工作距离: 0.3~18mm
·数字聚焦范围: 达到50倍场深
·抓图时间: 小于1us
·空间采样: 1024×1024像素
·采样速率: 15fps (1024×1024像素)
·单波长重建速率:15fps (512×512像素), 4fs(1024×1024像素)
·样品照明: 小于1uW/cm2
·**样品尺寸: 200mm×200mm
电源要求
·输入电压: 85-260VAC, 50/60Hz
·功率: 480W
重量&尺寸
·显微镜部分: 500×500×500mm&34.5kg