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光学仪器及设备
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yenista+OSICS T100+窄线宽可调激光器
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Sinton+WCT120+硅片少子寿命测试仪
光伏电池测试太阳模拟器
光伏测试太阳模拟器
变温霍尔效应测试仪
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在线式HIT用PECVD MVS
卷对卷柔性薄膜沉积设备MVS
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碳氧含量分析仪Nicolet 6700测试仪傅立叶红外光谱仪
FTE-8000手持式光谱分析仪
相关仪表
WCT-120PL产品分别采用标准QSSPC方法和光致发光法测量硅片的载流子寿命
单锥拉锥系统
保偏光纤耦合器熔融拉锥机
普通单模光纤拉锥系统
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电化学ECV +掺杂浓度PN结深测试+CVP21
电化学CV分布仪(CV测试仪)
辐射测量仪器
太赫兹探测器高莱探测器THz Golay cell
制样/消解设备
溅射设备MVS
无损检测/无损探伤仪器
CoreScan、Sherescan电池片面电阻测试系统
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产品系列
产品描述
WCT-120PL产品分别采用标准QSSPC方法和光致发光法测量硅片的载流子寿命。 瞬态光电导衰减法(PCD)和荧光方法两种互为补充。操作和使用起来和WCT120一样方便。
wct-120pl系统能力
主要应用:
通过使用QSSPC或短暂的寿命测量和PL测量制造过程监控和优化步骤。
其它功能:
?初始材料(硅片)质量监控
?(硅片)加工过程中的重金属污染晶圆检测
?评价表面钝化和发射极的掺杂剂扩散
?使用隐含的VOC测量来查找生产过程引入的漏电因素
?迭代计算qsspl和QSSPC数据得到衬底掺杂情况
上图是wct-120pl得到的一个校准的荧光寿命曲线与一个校准的QSSPC寿命曲线产生寿命数据的载流子密度对照曲线。
更多内容请见附件文件