手机版 |
产品分类 |
光学仪器及设备
PL光致发光成像太阳能电池生产检测设备
lyncee+材料3D实时动态显微镜+DHM™ R2100
Denselight SLD
细胞3D实时动态显微镜
Yenista+Tunics Reference+高性能可调激光光源
yenista+OSICS T100+窄线宽可调激光器
Yenista+TUNICS T100R+可调谐激光器
Yenista+T100S-HP+高功率可调激光器
fiberlabs光纤放大器S波段
fiberlabs光纤放大器0波段
其他
Sinton+WCT120+硅片少子寿命测试仪
光伏电池测试太阳模拟器
光伏测试太阳模拟器
变温霍尔效应测试仪
IV测试,QE测试用探针台样品台PVM
制备多晶硅太阳电池的氮化硅涂层沉积设备
在线式HIT用PECVD MVS
卷对卷柔性薄膜沉积设备MVS
已封装的标准太阳能电池
已校准的标准太阳能电池
半导体行业专用仪器
霍尔效应测试仪
膜厚光谱分析仪系统
嵌入式膜厚测试仪
膜厚测量仪
椭圆偏光膜厚测量仪(手动)
椭圆偏光膜厚测试仪(自动)
反射式膜厚测量仪
Sinton Instruments+BCT400+少子寿命测试仪
太赫兹时域光谱仪TDS
测量/计量仪器
接触电阻率测试仪
HalfMoon LED光色电检查系统
台阶仪
PLUTO高精度纯相位空间光调制器系统
空间光调制器Holoeye
光谱检测分析仪
FX2000工业级微型光谱仪
PG2000-Pro科研级高灵敏光谱仪
NOVA实验级制冷型光纤光谱仪
碳氧含量分析仪Nicolet 6700测试仪傅立叶红外光谱仪
FTE-8000手持式光谱分析仪
相关仪表
WCT-120PL产品分别采用标准QSSPC方法和光致发光法测量硅片的载流子寿命
单锥拉锥系统
保偏光纤耦合器熔融拉锥机
普通单模光纤拉锥系统
电化学仪器
电化学ECV +掺杂浓度PN结深测试+CVP21
电化学CV分布仪(CV测试仪)
无损检测/无损探伤仪器
CoreScan、Sherescan电池片面电阻测试系统
辐射测量仪器
太赫兹探测器高莱探测器THz Golay cell
制样/消解设备
溅射设备MVS
联系方式 |
产品系列
产品描述
产品特点:
? 椭圆偏振术测量紫外光到可见光波长椭圆参数。
? 0.1nm以上奈米级光学薄膜厚度测量。
? 400波长以上多通道分光的椭偏仪,高速测量椭圆偏光光谱。
? 可自由变换反射测量角度,得到更详细的薄膜解析数据。
? 非线性*小平方法解析多层膜、光学常数。
产品规格:
膜厚测量范围 | 0.1nm~ |
波长测量范围 | 250~800nm(可选择350~1000nm) |
感光元件 | 光电二极管阵列512ch(电子制冷) |
入射/反射角度范围 | 45~90o |
电源规格 | AC1500VA(全自动型) |
尺寸 | 1300(H)×900(D)×1750(W)mm |
重量 | 约350kg(全自动型) |
应用范围:
■半导体晶圆?电晶体闸极(Gate)氧化薄膜、氮化膜,电极材料等?SiO 2、SixOy、SiN、SiON、SiNx、Al 2 O 2、SiNxOy、poly-Si、ZnSe、BPSG、TiN?光阻剂光学常数(波长色散)■化合物半导体?AlxGa (1-x) As多层膜、非结晶矽■平面显示器?配向膜?电浆显示器用ITO、MgO等■新材料?类钻碳薄膜(DLC膜)、超传导性薄膜、磁头薄膜■光学薄膜?TiO 2、SiO 2、多层膜、抗反射膜、反射膜■平版印刷领域?g线(436nm)、h线(405nm)、i线(365nm)、KrF(248nm)等于各波长的n、k值评价
应用范例:
非线性*小平方法比对NIST标准样品(SiO 2)膜厚精度确认