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光学仪器及设备
PL光致发光成像太阳能电池生产检测设备
lyncee+材料3D实时动态显微镜+DHM™ R2100
Denselight SLD
细胞3D实时动态显微镜
Yenista+Tunics Reference+高性能可调激光光源
yenista+OSICS T100+窄线宽可调激光器
Yenista+TUNICS T100R+可调谐激光器
Yenista+T100S-HP+高功率可调激光器
fiberlabs光纤放大器S波段
fiberlabs光纤放大器0波段
其他
Sinton+WCT120+硅片少子寿命测试仪
光伏电池测试太阳模拟器
光伏测试太阳模拟器
变温霍尔效应测试仪
IV测试,QE测试用探针台样品台PVM
制备多晶硅太阳电池的氮化硅涂层沉积设备
在线式HIT用PECVD MVS
卷对卷柔性薄膜沉积设备MVS
已封装的标准太阳能电池
已校准的标准太阳能电池
半导体行业专用仪器
霍尔效应测试仪
膜厚光谱分析仪系统
嵌入式膜厚测试仪
膜厚测量仪
椭圆偏光膜厚测量仪(手动)
椭圆偏光膜厚测试仪(自动)
反射式膜厚测量仪
Sinton Instruments+BCT400+少子寿命测试仪
太赫兹时域光谱仪TDS
测量/计量仪器
接触电阻率测试仪
HalfMoon LED光色电检查系统
台阶仪
PLUTO高精度纯相位空间光调制器系统
空间光调制器Holoeye
光谱检测分析仪
FX2000工业级微型光谱仪
PG2000-Pro科研级高灵敏光谱仪
NOVA实验级制冷型光纤光谱仪
碳氧含量分析仪Nicolet 6700测试仪傅立叶红外光谱仪
FTE-8000手持式光谱分析仪
相关仪表
WCT-120PL产品分别采用标准QSSPC方法和光致发光法测量硅片的载流子寿命
单锥拉锥系统
保偏光纤耦合器熔融拉锥机
普通单模光纤拉锥系统
电化学仪器
电化学ECV +掺杂浓度PN结深测试+CVP21
电化学CV分布仪(CV测试仪)
无损检测/无损探伤仪器
CoreScan、Sherescan电池片面电阻测试系统
辐射测量仪器
太赫兹探测器高莱探测器THz Golay cell
制样/消解设备
溅射设备MVS
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产品系列
产品描述
卷对卷柔性薄膜沉积设备
Cassette houses flexible material
卷筒用于装载柔性衬底材料
Cassette transported from one process chamber to another via a robotic handler
制备薄膜时,卷筒可由真空机器手从一个腔室输送至另一个腔室
Advantages 此沉积系统的优点
- Eliminates cross-contamination 在制备多层膜器件时消除了交互掺杂影响
- Flexibility to adjust parameters on any part of the process. 制备薄膜时,能灵活控制各种运转沉积参数
- Down time reduced, i.e. each chamber can be serviced independently 因每个腔室可单独维护,减少了停机非运转时间
Reel to Reel Cassette Cluster tools
Cluster tool w/ 8 port locations
具有8个腔室的团簇型沉积系统
15cm and 30cm webwidth
柔性衬底的宽度可从15cm至30cm
Computer controlled
可完全由电脑程序控制操作运行
PECVD, HWCVD and Sputter capability
制备方式包括等离子体和热丝化学气相沉积,及溅射
(US patent #6,258,408B1)
(本产品获美国**#6,258,408B1)